Nyob rau hauv xyoo tsis ntev los no, kuv lub teb chaws lub thev naus laus zis thev naus laus zis tau txhim kho kom sai, thiab nws cov ntawv thov tau nthuav dav. Raws li cov hom tshaj plaws ntawm cov ntsuas ntsuas tam sim no, cov ntaub ntawv tshiab, cov txheej txheem tshiab thiab cov txheej txheem tshiab yog hloov kho hauv nruab nrab ntawm cov sensors siab.
Lub siab sensor yog ib qho cuab yeej siv los kuaj pom cov paib thiab hloov lawv mus rau hauv cov txheej txheem hluav taws xob raws li cov cai. Nws yog dav siv nyob rau ntau qhov tsim khoom, kev lag luam thiab kev ntsuas cov roj thiab ntau dua, thaum muaj ntau yam kub thiab ntau dua, thaum muaj ntau yam kub thiab ntau dua, thaum muaj ntau yam kub thiab ntau dua, thaum muaj ntau yam kub thiab ntau dua, cov khoom siv hluav taws xob ntau dua li cov ntsuas kub siab dua li 120 ° C). ° C) yuav swb, ua rau muaj kev ntsuas siab tsis ua haujlwm. Yog li ntawd, qhov kub siab ntsuas kub siab ua ib qho kev tshawb fawb tseem ceeb heev.
Kev faib tawm cov ntsuas kub siab siab siab
Raws li cov ntaub ntawv sib txawv, cov ntsuas kub siab tau muab faib ua cov pob zeb polysilican, sitic-sifing los ntawm cov kev txhim kho kub siab) (silicon Soi high-kub-kub siab sensors zoo heev. Cov hauv qab no tsuas yog qhia txog Soi Kev Kub Siab Kub Siab Sensor.
Soi Kev Kub Siab Kub Siab Sensor
Kev txhim kho ntawm so-high-kub siab sensors feem ntau yog cov txheej txheem ntawm cov txheej txheem submonder thiab cov si sab saum toj txheej thiab txheej txheem ntawm cov khoom siv insulator Kev ntseeg tau ntawm cov cuab yeej.In ntxiv, vim yog cov yam ntxwv siab ntawm SOI ntaus ntawv txheej, nws dhau los ua ib qho khoom zoo tshaj plaws rau kev npaj cov khoom siv kub siab.
Tam sim no, yog li cov ntsuas kub siab-kub tau txhim kho los ntawm tus Goodrich Siab Sensor tau tsim los ntawm tus Goodrich Advanced Sensor Technology Center hauv Tebchaws Asmeskas; Lub Soi high-kub-kub siab sensor tsim los ntawm Fab Kis lub koom haum tseem muaj ntau dua 400 ° high ait-high-rentestic siab lub tsev kawm ntawv, Tianjin University, thiab Peking University. Tsis tas li ntawd, cov FATRI yav tom ntej Kev Tshawb Fawb Txog Technology Technee ntawm Fatri tseem tau nqa tawm cov haujlwm tshawb fawb txog kev tshawb fawb, thiab cov phiaj xwm tam sim no tau nkag mus rau theem.
Ua haujlwm ua haujlwm ntawm Soi Kev Kub Siab Kub Siab Sensor
Hauv txoj ntsiab cai, lub siab kub siab sensor mas siv cov txiaj ntsig ua ke ntawm cov nqaj hlau tsis zoo Soi sab saum toj txheej txheem txheej los ua tus choj wheatstone raws li qhia hauv daim duab 2 (a); Lub siab rov qab kab noj hniav yog etched ntawm lub saststrate txheej los ua lub siab rhiab siab qauv.
Daim duab 2 (a) tus choj wheatone
Thaum lub siab-rhiab qauv yog raug rau huab cua siab, uas nyob rau hauv kev sib txheeb ntawm cov zis voltage muaj nuj nqis thiab cov nqi tiv thaiv ntawm cov piezoresistor.
Cov txheej txheem fabrication ntawm Soi Kev Kub Siab Kub Siab Sensor
Cov txheej txheem npaj npaj ntawm Soi high-kub siab sensor muaj feem cuam tshuam nrog ntau mems txheej txheem. Qee cov kauj ruam tseem ceeb qhia ntawm no kom nkag siab cov txheej txheem ntawm lub sensor, feem ntau yog suav nrog kev npaj piezoresistor, thiab siab chamber ntim.
Tus yuam sij rau kev npaj ntawm varistors lus dag nyob rau hauv kev tswj ntawm doping conventration thiab kev ua kom zoo ntawm etching moulding txheej; cov hlau txhuas txheej feem ntau yog ua haujlwm raws li kev sib txuas ntawm tus choj wheatstone; Kev npaj ntawm lub siab rhiab fork mas pub rau cov sib sib zog nqus silicon etching txheej txheem; Kev ntim ntawm cov kab noj hniav feem ntau yuav txawv nyob ntawm daim ntawv thov ntawm lub siab sensor,
Txij li tam sim no ua lag luam siab ntsuas kub siab tsis tuaj yeem ua tau zoo ntawm cov khoom siv tsis zoo, cov ntaub ntawv yav tom ntej ntawm cov khoom siv hluav taws xob tshwj xeeb, cov ntaub ntawv zoo tshaj plaws rau cov ntsuas kub siab. Kev tshawb fawb yav tom ntej ntawm Soi cov teeb meem kub siab thiab muaj cov teeb meem ntawm tus kheej nyob hauv qhov tseeb ntawm qhov tseeb ntawm qhov tseeb ntawm cov ntsuas siab. nam.
Ntawm chav kawm, kev tawm tsam ntawm cov ntse ERA tseem yuav tsum tau ua haujlwm siab dua nrog tus kheej kev them tus kheej, yog li kom ua tiav txoj haujlwm ntawm kev xav zoo siab ua kom siab kub ib puag ncig lub siab. Cov.
Lub sijhawm Post: Feb-13-2023